PT6H60-S光学平台通常需要粘接镜面的位置(例如,用于光路调整),为此,平移/倾斜系统开发了一个32mm的移动台面,可在x,y和z方向上提供运动。在两个正交轴及Z轴上的15 µm,偏转度为±0.5 mrad、旋转轴角度为1mrad。
三个平移轴的挠性铰链可确保在此平台的行程范围内实现z高程度的平行度,每个轴均具有内置的集成机械预紧力,这使得6轴压电定位器非常适合动态应用。设计用于正负偏转。
该结构具有温度补偿功能,因此周围温度的变化不会影响倾斜角度,因为镜架已预载,并且具有高刚度和夹紧频率的特点,因此可以进行动态操作。
固态挠性铰链的主要部件由金属材质制成,底板和顶板由黑色阳极氧化铝制成。
可选版本,六轴压电定位器可以与集成的应变仪测量系统一起提供。压电旋转台不仅限于用作物理定位仪器,越来越多的基于压电的旋转位移台在生物系统仪器(如针头调节或光纤对准)的高精度定位领域中也很常见。被广泛的应用于粒子跟踪、光镊、光束稳定、扫描显微镜等领域。
产品特性
—移动面:Φ32mm
—优异的位置稳定性
—可带载500g负载
—内部集成应变片传感器
—毫秒级响应时间
选配功能
—可定制转接装置及定制其它固定方式
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制镜片转接工装
应用领域
—图像处理/稳定
—激光扫描/光束偏转
—高速激光束转向光学陷波
—干涉仪、光纤布拉格光栅写作
—光轴调整、天文学、动光学
运动方式 关系曲线 关系曲线
PT6H60系列外形尺寸 系列技术参数