上海纳动纳米位移技术有限公司

产品描述
PK2H100-030U压电扫描台采用压电陶瓷直接驱动并联机械运动结构设计，具有超高动态扫描运动及超高精度的重复运动轨迹，特别适用于表面分析和扫描显微镜。
利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK2H100-030U扫描位移台可提供z佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。在并联多轴系统中，所有压电陶瓷作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动
PK2H100-030U压电扫描台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.02％的精度和重复性。
PK2H100-030U压电扫描台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电扫描台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。
产品特性
—XY位移：30μm（闭环）
—方形中孔尺寸：50x50mm
—超高刚度，z大承载能力：5Kg
—超高柔性并联结构设计
—直接驱动结构，具有超高动态特性
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制中心孔径大小
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵

结构原理                                                 堆叠形式                                              典型应用